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旋片泵的抽速與入口壓強的關(guān)系規定如下:在入口壓強為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。真空泵養護維修

旋片泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個(gè)轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切(二者有很小的間隙)，轉子槽內裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動(dòng)旋片沿泵腔內壁滑動(dòng)。真空泵養護維修

4、雜音振動(dòng)----管路支撐不穩，潤滑油混有氣體，產(chǎn)生汽蝕，軸承損壞，電動(dòng)機超載發(fā)熱運行穩固管路，提高吸入壓力排氣，降低真空度，更換軸承，調整按電動(dòng)機發(fā)熱方法排除5、電動(dòng)機發(fā)熱----流量多大，超載運行，碰擦，電動(dòng)機軸承損壞，電壓不足，關(guān)小出口閥，檢查排除，更換軸承，穩壓6、泵浦漏油----機械密封磨損，泵體有砂孔或po裂，密封面不平整，安裝螺栓松動(dòng)更換密封套件，修補泵浦，修正密封面端面，緊固螺栓。真空泵養護維修

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分子泵的安裝位置在主軸承的前端,可以避免發(fā)生振動(dòng),同時(shí)保證了機器的正常運轉。分子泵的安裝位置與主軸承相似。機電設備檢測。1)電源分別是dca-5a、dca-5v。電源接地是a)輸入端電流不得超過(guò)1ma，不允許使用外部電源；b)接地線(xiàn)不得超過(guò)25v。a)輸出端電流不得超過(guò)1ma，不允許使用外部電源；b)接地線(xiàn)的接地線(xiàn)應與主軸承相同。a.輸入端電流應為dca-5v。b.輸出端電壓不得超過(guò)0v。c)接地線(xiàn)不得低于05v。d)接地線(xiàn)應與主軸承相同。e)機器的外部電源和機械設備安裝在主軸承上?；け镁S修

從軸承特性上區分，分子泵大致可分為以下三類(lèi)：

1.油潤滑分子泵

2.脂潤滑分子泵

3. 磁懸浮分子泵

油潤滑分子泵特點(diǎn)：軸承用油潤滑。

現在大部分渦輪分子泵轉子都用油潤滑軸承。因為這種軸承在轉子的排氣側，所以油蒸汽不會(huì )到達渦輪分子泵的入口?；け镁S修

在工作壓強的高壓端，通過(guò)軸承的油流可用來(lái)散失掉氣體摩擦熱。在低壓下主要是油的摩擦本身造成轉子溫度。

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真空泵用的行業(yè)比較多，如醫院里的消毒柜、啤酒行業(yè)、罐裝飲料等地方。真空泵的形式比較多，一種是水環(huán)泵（以水位介質(zhì)循環(huán)的），另外一種是干泵，像螺桿泵、羅茨泵。水環(huán)泵也叫粗泵，因為它對介質(zhì)的要求比較廣泛一些。像螺桿真空泵、羅茨泵，在電子行業(yè)用的比較多。阿爾卡特真空泵維修

分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。半導體的各種生產(chǎn)工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，因此對真空系統和真空設備的潔凈度也有著(zhù)很高的要求。在半導體生產(chǎn)制造工藝中，分子泵廣泛應用于光刻機、薄膜沉積設備、刻蝕設備、離子注入機等關(guān)鍵設備等。阿爾卡特真空泵維修

眾所周知，腐蝕是由于溶液里的酸性離子和堿性離子跟金屬發(fā)生反應才造成的，溫度越高腐蝕的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材質(zhì)或是在轉子上做一些防腐涂層來(lái)延緩腐蝕速率。

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