分子泵轉速升不上去的主要原因包括以下幾種:
污染:分子泵內部受到污染,如油蒸氣、水蒸氣、有機物和金屬蒸汽等污染物附著(zhù)在泵內表面,會(huì )影響排氣速度,導致泵速無(wú)法上升。
氣體反壓:泵入口處存在高于大氣壓的氣體壓力,限制了排氣速度,常見(jiàn)原因包括管道設計不合理、漏氣點(diǎn)或附加設備連接不當。
底漏:泵內部壓力低于大氣壓時(shí),氣體從泵前端進(jìn)入泵內,導致實(shí)際氣體抽取速度低于理論值,主要原因包括密封不良或設計缺陷。
扭力不足:馬達扭力不足,可能是由于馬達設計不良、零件損壞或磨損等。
泵內氣體泄漏:密封不良、泵體材料老化或密封圈磨損會(huì )導致抽氣速度下降和真空度不穩定。
解決方法有以下這些:
1. 清洗泵內部:采用高溫烘烤、濺射和化學(xué)清洗等方法去除污染物。
2. 排除氣體反壓:調整管道尺寸和位置,確保排放管道暢通無(wú)阻,并定期檢查并修復漏氣點(diǎn)。
3. 更換密封件:如果底漏是主要原因,更換泵內部的密封件以確保泵內部壓力始終低于大氣壓。
4. 更換零件:如果馬達扭力不足,可能需要更換馬達或其他零件。
5. 泄漏檢測與修復:通過(guò)氣體泄漏檢測儀器確定泄漏點(diǎn),重新密封或更換磨損的密封圈