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  渦輪分子泵是高或超高真空泵，主要由轉子和定子兩個(gè)部分組成。一個(gè)旋轉的轉子盤(pán)和一個(gè)靜止的定子盤(pán)組成了一個(gè)泵級，泵級產(chǎn)生一個(gè)特定的壓縮比。通過(guò)連續開(kāi)啟增加壓縮效果的多個(gè)泵級，可以獲得高達 1013的壓縮比。
  渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線(xiàn)的照射，耐大氣沖擊，無(wú)氣體存儲和解吸效應，無(wú)油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空
  應用領(lǐng)Applications
廣泛應用于鍍膜、電子、半導體、太陽(yáng)能、真空爐、化工、離子刻蝕、光盤(pán)制造、制燈、航空航天、核能源等相關(guān)行業(yè)和教學(xué)、科研單位。