分子真空泵(以下簡(jiǎn)稱(chēng)分子泵)因其工作穩定可靠,在分子流態(tài)下具有很好的抽氣效率,已經(jīng)成為清潔高真空、超高真空應用領(lǐng)域的主流設備,在科學(xué)儀器、工業(yè)生產(chǎn)中得到廣泛應用。
分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機理不同。分子泵是基于動(dòng)量傳遞原理,在變頻電源驅動(dòng)電機的帶動(dòng)下高速旋轉,分子流區域內氣體分子與高速轉動(dòng)的葉片表面碰撞,動(dòng)量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。
分子泵抽真空的時(shí)間取決于許多因素,例如真空室的尺寸、所需的Z終真空度、泵的類(lèi)型和規格以及泵的操作方式等。一般來(lái)說(shuō),分子泵抽真空速度比較快,可以在幾分鐘內將真空度降到10^-6Pa以下。