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分子泵渦輪分子泵主要分為立式和臥式兩種。臥式渦輪分子泵,這種結構的分子泵是雙軸流的,吸氣口在兩組抽氣單元的中央,氣體吸入后,分別被左右兩側的葉列組合抽走。由于國內磁懸浮軸承技術(shù)起步較晚,將磁軸承技術(shù)應用到實(shí)際工業(yè)產(chǎn)品中仍存在一系列難題。 正是意識到這一問(wèn)題后,公司以此為科技攻關(guān)點(diǎn),經(jīng)過(guò)多年的不懈努力,磁懸浮軸承技術(shù)研究取得突破。特別是針對復合分子泵的工作原理,研發(fā)出了適合復合分子泵用的磁懸浮高速電機,很后將兩者結合起來(lái),成功研發(fā)出國內生產(chǎn)的磁懸浮復合分子泵,并探索實(shí)現了產(chǎn)業(yè)化。
9、對顆粒物或沉積物敏感; 10、噪音與振動(dòng); 11、破碎問(wèn)題; 12、暴露大氣易引起事故; 綜上所述,渦輪分子泵的特點(diǎn)很多,但是隨著(zhù)我國機械、、電子、化工等領(lǐng)域的高速發(fā)展,渦輪分子泵想要擴大它的市場(chǎng)占有率,其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專(zhuān)研,同時(shí)也需要各界的共同努力,對渦輪分子泵特點(diǎn)的進(jìn)一步研究,相信在未來(lái)是個(gè)值得突破的課題。
愛(ài)發(fā)科分子泵, 磁懸浮分子泵應用范圍***。公司研發(fā)總經(jīng)理介紹,在半導體生產(chǎn)線(xiàn)、真空鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)、汽車(chē)后視鏡鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)等領(lǐng)域都有著(zhù)廣闊的市場(chǎng)前景。 由于磁懸浮軸承技術(shù)具有無(wú)摩擦、、高精度、長(cháng)壽命、低噪音、無(wú)油污等突出優(yōu)點(diǎn),一旦實(shí)現產(chǎn)業(yè)化,將成為能源、節能減排、真空機械等重大戰略領(lǐng)域的技術(shù)。
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分子泵使用中有哪些注意事項?2.一文了解分子泵在半導體行業(yè)的應用3.如何科學(xué)地獲得超高真空?4.國際熱核聚變試驗堆(ITER)的真空結構5.一千多臺樣泵用于各項測試,僅選很優(yōu)方案,揭秘新型分子泵測試方法;真空聚焦真空行業(yè)新媒體平臺:渦輪分子泵應用于質(zhì)譜系統分子泵應用于緊湊型質(zhì)譜系統。
質(zhì)譜分析是指與質(zhì)譜分析相結合的一種核分析技術(shù),用于實(shí)現同位素比值的測定.需要清潔無(wú)油的高真空環(huán)境,一般采用干泵配備渦輪分子泵實(shí)現高真空環(huán)境.質(zhì)譜系統需要分子泵抽真空原因:1.電子加速運動(dòng)的需要;2.電子正常工作的需要;3.加速管微波電場(chǎng)的需要(避免加速管中出現微波打火,必須抽到高真空). 中科院某大型科技工程項目,工程的主體建筑是三大:一臺150MeV(1.5億電子伏特)的電子直線(xiàn)、一臺能在0.5秒內把電子束能量從150MeV提升到3.5GeV(35億電子伏特)的量增強器,以及一臺周長(cháng)432米的3.5GeV電子儲存環(huán),
經(jīng)過(guò)技術(shù)推薦,成功采購愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵和干泵,渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實(shí)踐證明渦輪分子泵運行時(shí)間可以達到100,000小時(shí)!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿(mǎn)足不同應用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.
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脈沖激光沉積系統PLD客戶(hù)案例:某大學(xué)電信系脈沖激光沉積系統
1.系統功能:主要用于Mn氧化物等復雜材料膜。
2.渦輪分子泵真空度要求:真空度
3.樣品尺寸:6英寸
4.基片旋轉,加熱溫度:750℃
5.膜生長(cháng)控制模式:鍍率/厚度/時(shí)間控制模式
真空系統配置:超高真空系統配置:渦輪分子泵400
接口:DN100CF-F
極限真空:
氮氣壓縮比:>1X1011渦輪分子泵80
接口:DN63CF-F
氮氣壓縮比:>1X1011隔膜泵MVP040
口徑:G1/4”
極限真空:≦5mbar
抽速:2.3m3/h
渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實(shí)踐證明渦輪分子泵運行時(shí)間可以達到100,000小時(shí)!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿(mǎn)足不同應用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應用>>