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廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科分子泵維修改造升級維修；

渦輪分子泵的特點(diǎn)很多，但是隨著(zhù)我國機械、、電子、化工等領(lǐng)域的高速發(fā)展，渦輪分子泵想要擴大它的市場(chǎng)占有率，其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專(zhuān)研，同時(shí)也需要各界的共同努力，對渦輪分子泵特點(diǎn)的進(jìn)一步研究，相信在未來(lái)是個(gè)值得突破的課題。

典型的渦輪分子泵抽氣系統 ，抽氣系統設置分開(kāi)的粗抽管道和前級管道，這種系統和常用的擴散泵抽氣系統類(lèi)似，其粗抽管道和前級管道的基本配置與擴散泵不同。擴散泵的正常運轉要求前級泵具有足夠大的抽速，以便在很大排氣量時(shí)前級壓力能低于臨界前級壓力，在渦輪分子泵抽氣系統中，要選擇具有足夠容量的前級泵，使很靠近前級管道的葉片在很大排氣量時(shí)處于分子流或者正好處于過(guò)渡流。

大多數渦輪分子泵的很大穩態(tài)進(jìn)氣口壓力P1在0.5~1Pa之間，而很大前級壓力P2約為30Pa。因為排氣量為一常數，即P1S1=P2S2，   （1）式（1）表明，渦輪分子泵抽速和前級泵抽速之S1/S2比應該在30到60的范圍內，對于很大的對氫壓縮比小于500的泵來(lái)說(shuō)，其級配比應該為20：1。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規；5-熱傳導規；6-粗抽閥；7-機械泵；8-前級管路閥；9-高真空閥。

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市場(chǎng)主要磁懸浮分子泵生產(chǎn)商包括真空、Atlas(Edwards&Leybold)、大阪真空機器制造所、和等，按收入計，2021年大廠(chǎng)商占有大約%的市場(chǎng)份額。從產(chǎn)品泵速方面來(lái)看，低于1500升/秒占有重要地位，按收入計，2021年市場(chǎng)份額為%，預計2028年份額將達到%。同時(shí)就應用來(lái)看，半導體行業(yè)在2028年份額大約是%，未來(lái)幾年CAGR大約為%。

根據不同產(chǎn)品泵速,磁懸浮分子泵細分為:

 低于1500升/秒

1500到3000升/秒

 高于3000升/秒

根據不同應用，本文重點(diǎn)關(guān)注以下領(lǐng)域：

 半導體行業(yè)

 光伏行業(yè)

 鍍膜行業(yè)

 其他

渦輪分子泵的工作特性主要表現在以下幾個(gè)方面：

（1）抽速與轉速的關(guān)系抽速與轉速之間的關(guān)系大致為S（4-67）。其中：g是由幾何形狀決定的常數；u是活動(dòng)刀片的轉速。隨著(zhù)速度的增加，泵送速度比直線(xiàn)略慢。這可以通過(guò)在抽速較高時(shí)對進(jìn)氣管電導率的限制來(lái)解釋。根據（4-66），隨著(zhù)S1的增加，S將偏離直線(xiàn)。

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分子泵入口應裝設防護網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內損壞泵轉子和定子葉片。抽氣系統裝有單獨粗抽管路的渦輪分子泵抽氣系統的操作方法與擴散泵抽氣系統相似。在開(kāi)始粗抽以前，高真空閥和粗抽閥是關(guān)著(zhù)的，而前級管道閥是打開(kāi)的。首先關(guān)閉前級閥，啟動(dòng)粗抽泵（兼前級泵），打開(kāi)粗抽閥開(kāi)始對真空室進(jìn)行抽氣。在真空室內的壓力降到150~100Pa時(shí)關(guān)閉粗抽閥，打開(kāi)前級管道閥，再啟動(dòng)渦輪分子泵（需先接通冷卻系統）。

如果分子泵入口處裝有液氮冷阱，則應在泵加速到額定轉速后（一般需5~10min）加注液氮。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規；5-熱傳導規；6-粗抽閥；7-機械泵；8-前級管路閥；9-高真空閥。圖1 典型渦輪分子泵抽氣系統粗抽系統的配置隨真空室的容積大小而有所不同。對500L/s或更小的渦輪分子泵來(lái)說(shuō)，可采用一臺雙級旋片泵；1000L/s以上的渦輪分子泵則采用以機械泵為前級泵的羅茨泵機組。

在壓力為100到150Pa時(shí)關(guān)閉粗抽閥，把真空室切換到渦輪分子泵上。對某些泵，這樣做會(huì )引起輕微而滯后的瞬時(shí)減速，但這對抽氣并無(wú)影響。正如擴散泵抽氣系統那樣，渦輪分子泵系統中的很主要的物質(zhì)是水蒸氣，其臭氣時(shí)間將受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱，那么這個(gè)系統抽除水蒸氣的速度就會(huì )比同樣抽速的無(wú)冷阱擴散泵略慢一些。

傳統的產(chǎn)品設計和開(kāi)發(fā)過(guò)程，常被當作是研制產(chǎn)品的一個(gè)步驟，因為產(chǎn)品的設計者不可能對上市時(shí)間、質(zhì)量與可靠性、生產(chǎn)成本、售后及易維護性等全盤(pán)掌握，使用傳統過(guò)程設計的產(chǎn)品在投入生產(chǎn)時(shí)不可避免地需要進(jìn)行反復修改。產(chǎn)品生命周期設計方法通過(guò)提議、調查、實(shí)驗室原型、生產(chǎn)原型、試運行和量產(chǎn)六個(gè)步驟來(lái)推動(dòng)和設計過(guò)程，

在這些設計過(guò)程推進(jìn)時(shí)，采用各種各樣的測試和多個(gè)部門(mén)參與的交互式討論和分析來(lái)決定產(chǎn)品設計方案和方向，而這其中的關(guān)鍵就是各種測試。為了驗證各種不同的設計，執行了遠超行業(yè)標準的大量測試，在量產(chǎn)之前陸續生產(chǎn)了多達1000余臺樣泵，對各項結構和功能參數進(jìn)行測試和分析，很終產(chǎn)品定型時(shí)，僅選用了結果很佳的結構和方案。

擴展測試

壽命測試在通過(guò)對有統計學(xué)意義數量的泵進(jìn)行加速壽命測試（長(cháng)時(shí)間暴露于加速損壞的條件下），對泵的可靠性進(jìn)行驗證。該測試可確保泵無(wú)故障運行的平均時(shí)間超過(guò)五年。

沖擊測試對一批泵在運行和非運行條件下進(jìn)行一系列測試，證明泵的抗沖擊性。每個(gè)泵受到30–120g的加速度，相當于從82厘米/32英寸高跌落（處于非運行狀態(tài)的泵）和從15厘米/6英寸高跌落（處于運行狀態(tài)的泵）。